1.5±μm
600*600≥mm
振镜联动扫描系统使振镜加工范围无限扩展成为可能。LrLaser-6060通过机床轴运动与振镜扫描运动，形成联动运动轨迹，扩展了激光扫描系统的工作区，提供清晰的激光加工优势。相比于传统的振镜与平台独立控制系统，振镜联动系统能够大幅度提升激光加工效率及精度，实测最高效率提升40%，整体精度能够控制在5um以内。
• 全闭环扫描振镜及伺服系统联动控制
• 无限视野范围轨迹无缝结合
• 数字化扫描控制系统+PSO位置同步输出，零延迟
• 应用于大面积复杂轨迹的连续激光微加工
• 自主开发的激光控制系统
| 驱动器方式 | 振镜+伺服轴运动控制 | 信号传输 | EtherCAT，支持振镜XY2-100 |
| 有效范围 | 600mm×600mm或以上 | 定位精度 | ±1.5um |
| 功率控制 | PSO等间距激光功率控制 | 波长范围 | 343 nm到10.6μm |
| 激光器类型 | 适用于短脉冲PS和FS等超快激光器 |
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