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10m/s
1500-6000W
170mm²
1.5±μm
600*600≥mm
0.005mm(±)
5m/s(≤)
172.4mm
150W
300mm/s
2.0G
0.03mm(±)
0.02mm(±)
400N
99%
1.5%
1mm
0.06mm
0.05mm
600μrad
510.9mm
0.02mm
0.393rad
10 μrad/K
150μrad