24PPM
99.8%
60μm
主要实现来料组缓存、厚度检测、尺寸测量、X-ray检测工艺
· 有效的极组缓存数量：缓存设置设置≥80pcs，微小故障不停机保证生产节拍；
· 稳定的极组厚度检测：压力200N-500N，厚度范围5~20mm
· 接触式极组厚度检测，测试精度±0.1mm；
· 创新型极组检测移载方式，保证拾取过程不对极组造成伤害；
· 创新x-ray检测方式，误判率<2%漏判率≤0%
· 极组与设备的绑定，实现信息可追。
| 设备产能 | 24PPM | 产品优率 | ≥99.8% |
| 成像部件 | 平板探测器和TDI | 稼动率 | ≥99% |
| 检测精度 | ≤60μm | 检测极组层数（MAX） | 80层 |
| 兼容范围 | 100-220mm（L）x 40-86mm（T）x 125-220mm（H）x 80-200mm（D） | ||
| 整体尺寸 | 8200mm(L） x 2400mm(W) x 2500mm(H) | ||
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