PERC激光开槽设备

7200_uph

产能

150-250_μm

硅片厚度

15_μm

图像精度（≤）

0.03_%

碎片率（＜）

该激光系统用于PERC电池背钝化量产线，采取激光消融电池背面的钝化膜，可提供在线或离线两种生产方式。

· 美国进口532nm纳米绿光激光器，稳定可靠

· 可根据需求自由设定开模图形：实线、虚线、圆点等，图形精度≤±15μm

· 自动化程度高，可选在线式和离线式，上下料机构可对接AGV小车

· 精密视觉定位，高速柔性机构传输，碎片率低于0.03%

· 独立除尘过滤装置：除尘效率＞95%，粉尘过滤效率＞99%